幾何量測量當(dāng)擔(dān)-激光干涉儀 

隨著20世紀(jì)60年代初激光的出現(xiàn)，幾何量測量技術(shù)的發(fā)展步入了嶄新的時期，激光干涉儀在此時脫穎而出，并且在幾何量測量領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用。激光干涉儀為何如此廣受歡迎呢？今天我們就來認識幾何量測量擔(dān)當(dāng)——激光干涉儀。

原理

一個角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上，形成固定長度參考光束。另一個角錐反射鏡相對于分光鏡移動，形成變化長度測量光束。

從激光頭射出的激光光束①具有單一頻率，標(biāo)稱波長為633nm，長期波長穩(wěn)定性（真空中）優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)此光束到達偏振分光鏡時，被分成兩束光——反射光束②和透射光束③。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束④。

如果兩光程差不變化，探測器將在相長干涉和相消干涉的兩端之間的某個位置觀察到一個穩(wěn)定的信號。

如果兩光程差發(fā)生變化，每次光路變化時探測器都能觀察到相長干涉和相消干涉兩端之間的信號變化。這些變化（條紋）被數(shù)出來，用于計算兩光程差的變化。測量的長度等于條紋數(shù)乘以激光波長的一半。

功能應(yīng)用

激光干涉儀具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備運動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時也能檢測運動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度和垂直度；并可以校準(zhǔn)機床的回轉(zhuǎn)軸。