測厚原理

兩個激光位移傳感器的激光對射，被測體放置在對射區(qū)域內(nèi)

，根據(jù)測量被測體上表面和下表面的距離，計(jì)算出被測體的厚度。

激光測厚儀的基本組成是激光器、成像物鏡、光電位敏接收器、信號處理機(jī)測量結(jié)果顯示系統(tǒng)。激光束在被測物體表面上形成一個亮的光斑，成像物鏡將該光斑成像到光敏接收器的光敏上，產(chǎn)生探測其敏感面上光斑位置的電信號。當(dāng)被測物體移動時，其表面上光斑相對成像物鏡的位置發(fā)生改變，相應(yīng)地成像點(diǎn)在光敏器件上的位置也要發(fā)生變化，兩者之間的關(guān)系：

LPM30C測厚計(jì)算公式

LPM30C測厚計(jì)算公式

式中：

X、X`——分別是被測物位移和光敏器件上像斑的位移；

L、L`、α——是系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)參數(shù),是根據(jù)具體使用要求而選定的。

由此可見精確地測量X`就可以得到被測物體的位移量，這就是三角法測量位移的原理。

主要技術(shù)指標(biāo)

可測范圍：0～500mm

最高精度：0.5μm

測量速度：最高9400Hz

測量距離：10～200mm

被測體水平方向運(yùn)動速度最高560m/min