一、環(huán)境因素的影響

1.影響因素

下面所列任何一種環(huán)境參數(shù)的變化都會導(dǎo)致大約1μm的誤差:

(1)空氣溫度:1℃

(2)空氣壓力:0.3kPa

(3)相對濕度:30%

特別是振動對測量的影響是非常大的，振動可能導(dǎo)致測量數(shù)據(jù)的分散，明顯影響重復(fù)性的測量。甚至可能使測量無法正常進行下去。

31.jpg

2.減少及消除的方法

(1)測量盡量在恒溫車間進行，以保持環(huán)境溫度的相對穩(wěn)定。

(2)在環(huán)境參數(shù)偏離標準條件時，可使用EC10環(huán)境補償單元對溫度、壓力、濕度進行自動補償，可使上述(溫度、壓力、濕度)誤差減少到±1.1μm。

(3)盡量關(guān)掉車間的照明燈和機床上的工作燈，以減少熱源。

(4)在夏季，為了減少激光器的發(fā)熱，可用電風扇對其進行散熱和降溫，以延長激光器的使用時間。

(5)在測量時，應(yīng)盡量避免車間各種振動的產(chǎn)生，如機床、行車等。在必要時，可在下班或晚上比較安靜的環(huán)境下測量。同時，應(yīng)將反射鏡和干涉鏡分別安裝在刀具/中滑板位置和床身位置上，激光器安裝在盡量靠近機床的位置，使用盡可能短的加長安裝附件來固定光學元件，以減少機床振動產(chǎn)生的影響。

二、機器表面溫度的影響

1.影響因素

機器溫度偏離20℃時，由于使用的材料溫度傳感器的測量準確度及輸入機器熱膨脹系數(shù)不正確的影響，對測量準確度也會產(chǎn)生影響。當材料溫度傳感器的準確度為±0.1℃，熱膨脹系數(shù)為10μm/℃時，產(chǎn)生的測量誤差為±1.0μm;若輸入不正確的機器熱膨脹系數(shù)會使準確度變化為10μm，甚至更多。

2.減少及消除的方法

由上看出，熱膨脹系數(shù)是一個重要的誤差來源，因此應(yīng)該注意確保輸入正確的數(shù)值，必要時，可向機器供應(yīng)商進行咨詢。

三、死程誤差的影響

1.影響因素

死程是在使用EC10自動補償?shù)姆绞竭M行位置準確度測量中隨環(huán)境參數(shù)的變化而產(chǎn)生的一種誤差。由于在定“零點”時，固定光學鏡和移動光學鏡之間存在一段距離，EC10無法對“零點”和固定光學鏡之間的距離進行補償而產(chǎn)生誤差。

2.減少及消除的方法

在定“零點”時，若固定光學鏡和移動光學鏡是并排放置的，則死程誤差可以忽略不計。

在移動光學鏡位于坐標軸零點位置時，兩個光學元件彼此間距離為最大的這種機器上，可按下述方法進行預(yù)置，以避免激光干涉儀以該點定零點時引起的潛在的死程誤差:

①把移動光學鏡放在坐標軸零點位置上;

②激光干涉儀定零點;

③把移動光學鏡運動到坐標軸另一端(使兩個光學鏡盡量接近)，注意要保持讀數(shù)的符號與光柵尺的符號一致;

④當兩個光學元件放在最接近的位置時，設(shè)置一個與激光干涉儀讀數(shù)相等的預(yù)選值;

⑤在這個相同位置上重新設(shè)置零點，其值為預(yù)選值。