一、線性測量

光學(xué)組件：分光鏡一只，反射鏡兩只。

測量原理：線性位置精度（或速度）的測量必須具有一個光學(xué)元件相對于另一個光學(xué)元件間的相對運(yùn)動。線性位置精度（或速度）通過XL80激光頭的干涉條紋計(jì)數(shù)電路來確定兩個光學(xué)元件間的距離變化（或距離變化速率），并與被測機(jī)器的光柵讀數(shù)尺相比較來確定精度誤差。

光學(xué)器件安裝：

  1、水平軸測量光學(xué)器件的安裝布局。（干涉鏡或者反射鏡移動，反射鏡作移動光學(xué)元件的測量范圍是40m，干涉鏡作移動光學(xué)元件的測量范圍是15m。）

  2、垂直軸測量光學(xué)器件的安裝布局。（反射鏡移動）

線性測量光路校準(zhǔn)步驟：先近后遠(yuǎn)，近調(diào)上下左右，遠(yuǎn)調(diào)俯仰扭擺。

  1、架設(shè)好激光頭后，先將激光頭的左右、俯仰、扭擺居中，再將激光頭調(diào)至水平，在激光頭上安裝好標(biāo)準(zhǔn)光閘。

  2、將線性干涉鏡和測量反射鏡置于較近位置，調(diào)節(jié)干涉鏡與反射鏡之間的相對位置，使反射回來的兩束光線完全重合，調(diào)節(jié)三角架使重合后的反射光線進(jìn)入回光孔，保證五個光強(qiáng)指示燈全亮。此處請勿大范圍調(diào)節(jié)激光頭上的俯仰和扭擺旋鈕，僅限微調(diào)。

  3、將線性干涉鏡與測量反射鏡距離最遠(yuǎn)，根據(jù)近、遠(yuǎn)端光線照射的位置，可判斷出激光頭發(fā)出光線的傾斜方向，扭擺三角架使激光頭向傾斜方向的相反方向扭擺，再平移三角架使激光大致照射在干涉鏡正中偏上1/2處。查看光閘，若無兩束光線返回，則繼續(xù)扭擺和移動三角架，直至兩光點(diǎn)出現(xiàn)，并使兩光點(diǎn)相距較近。

  4、微調(diào)俯仰、扭擺，使兩束反射光線完全重合。

  5、通過升降三角架和調(diào)節(jié)激光頭的左右位置，使重合后的反射光束射入回光孔。

  6、查看五個光強(qiáng)指示燈是否全亮，若無，請重復(fù)步驟2~5，直至近、遠(yuǎn)兩端位置，五個光強(qiáng)指示燈全亮。

  7、安放補(bǔ)償元件，進(jìn)行線性測量。

二、直線度測量

光學(xué)組件：直線度干涉鏡一只、直線度反射鏡一只。

測量原理：激光頭的輸出光束穿過直線度干涉鏡后，被分裂成兩束夾角較小的光束，這兩束光成一個微小的角度。然后，經(jīng)直線度反射鏡反射后沿一條新的光路返回到直線度干涉鏡，該兩束光束在直線度干涉鏡處匯合成一束光束，并返回激光頭的回光孔。直線度測量是通過檢查干涉鏡和反射鏡的相對橫向位移引起的光程差來實(shí)現(xiàn)的，直線度測量可以在水平面或垂直面內(nèi)進(jìn)行，它取決于直線度干涉鏡和直線度反射鏡的定位方向。

光學(xué)器件安裝：

短距離直線度測量，行程近端時固定光學(xué)元件與移動光學(xué)元件之間的距離至少為0.1m，而長距離直線度測量時該距離最少為1m。

垂直直線度偏差測量光路校準(zhǔn)步驟：

    1、放置好激光頭，安裝好直線度光閘。

    2、將干涉鏡表面旋轉(zhuǎn)90度（小孔在右邊），借助直線度干涉鏡上的小光孔將激光近、遠(yuǎn)兩端拉直。

    3、放置直線度反射鏡，檢測其頂面是否水平。在直線度反射鏡中間刻度線處安裝一光靶，光靶小光孔與干涉鏡小光孔同側(cè)，只調(diào)節(jié)直線度反射鏡，使激光正對光靶小光孔。

    4、將干涉鏡旋轉(zhuǎn)90度，去除光靶。細(xì)微旋轉(zhuǎn)干涉鏡表面使反射回光閘的兩束光線聚焦，調(diào)節(jié)直線度反射鏡上旋鈕將匯合后的光束對準(zhǔn)直線度光閘的回光孔。

    5、檢查激光頭，近、遠(yuǎn)兩端光強(qiáng)是否一致。（可微調(diào)俯仰、扭擺、左右，尋找返回光束光強(qiáng)最大位置。）

    6、人工去除斜率誤差。祥見雷尼紹校準(zhǔn)產(chǎn)品培訓(xùn)教材4.2章節(jié)。

三、垂直度測量

    光學(xué)組件：光學(xué)直角尺一只、垂直轉(zhuǎn)向鏡一只、直線度干涉鏡一只、直線度反射鏡一只、回射反射鏡一只。

    測量原理：沿著兩條標(biāo)稱相互垂直的軸，利用一個共同的基準(zhǔn)，分別進(jìn)行直線度測量，從而測量其垂直度。通常，這個共同的基準(zhǔn)就是直線度反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)線，在兩次直線度測量期間，即不能移動（相對于工作臺），也不能調(diào)整反射鏡。這兩次直線度測量，至少有一次是利用光學(xué)直角尺完成的。

光學(xué)器件安裝：

垂直軸與水平軸之間的垂直度測量光路校準(zhǔn)步驟（光線橫向水平射出并返回）：

    一號光靶位于垂直轉(zhuǎn)向鏡的入光側(cè)，二號光靶位于回射反射鏡上，三號光靶位于光學(xué)直角尺入光側(cè)中心刻度線處，請注意光靶小光孔的朝向。

    1、右進(jìn)左出，調(diào)節(jié)三角架，拉直激光，近、遠(yuǎn)端對正一號光靶。近端上下、左右調(diào)節(jié)，遠(yuǎn)端扭擺、俯仰調(diào)節(jié)。

    2、將激光對準(zhǔn)二號光靶，近端前后、左右位置調(diào)節(jié)，遠(yuǎn)端調(diào)節(jié)垂直轉(zhuǎn)向鏡的旋鈕。

    3、拆除一、二號光靶，調(diào)節(jié)激光頭上下、左右位置，將激光對準(zhǔn)三號光靶，調(diào)好近、遠(yuǎn)端。

    4、安裝直線度反射鏡，在直線度反射鏡的第二、四格分別安裝好光靶，光靶上光孔的位置與光學(xué)直角尺的射出光線的位置相對應(yīng)。

    5、人工去除斜率誤差。祥見雷尼紹校準(zhǔn)產(chǎn)品培訓(xùn)教材4.2章節(jié)。

    A、由光學(xué)直角尺射出經(jīng)直線度反射線返回的兩條光線若不在同一法線上，需旋轉(zhuǎn)主軸上安裝在回射反射鏡中的干涉鏡進(jìn)行調(diào)節(jié)。

    b、消除斜率過程中，若大范圍調(diào)節(jié)直線度反射鏡旋鈕都無法將斜率消除，可微調(diào)激光頭的扭擺和俯仰（調(diào)光時，觀察在光學(xué)直角尺與直線度反射鏡上的光點(diǎn)是否中心對稱）。