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一、儀器規(guī)格參數(shù)
G5U-PH激光干涉儀為3D屏及全面屏攝像孔檢測而定制，可以滿足條紋非常密集、超大像差（PV值非常大）狀況下的準確測量。儀器采用進口He-Ne激光器，可選配氣浮減震平臺，在環(huán)境惡劣的生產(chǎn)現(xiàn)場亦可以保證穩(wěn)定、可靠的測試。
儀器規(guī)格參數(shù)表
硬件部分：
產(chǎn)品型號 | G5U-PH |
產(chǎn)品名稱 | 5mm正立式激光干涉儀 |
測試口徑 | Φ5mm |
輔助對準口徑 | Φ30mm |
標準鏡面形精度 | λ/20 |
光源 | 進口He-Ne激光器（632.8nm) |
光路切換 | 輔助觀察（Φ30mm大視場）與測試（Φ5mm小視場）模式電控切換 |
電源 | AC220V50HZ |
軟件部分：
軟件名稱 | 移相算法（簡稱PH） |
分析項目 | 透過波前PV值、平行度Tilt值、ttv等 |
測試重復性 | PV：0.01λ RMS:0.003λ |
測試允許誤差 | PV<1λ時 PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零場調(diào)整為1根條紋） |
1λ<PV<2λ時 PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零場調(diào)整為1根條紋） | |
2λ<PV<3λ時 PV：0.2λ Tilt：1fr（零場調(diào)整為1根條紋） | |
測試時間 | 1.5秒 |
二、儀器特點
1、可滿足超大像差的準確檢測
隨著手機行業(yè)的發(fā)展，3D屏及全面屏的攝像孔開始無限靠近弧邊，相應(yīng)的，透過波前的PV值也遠大于之前的2D及2.5D屏。尤其是攝像孔邊緣區(qū)域（貼近弧邊）的干涉條紋會非常密集，超出上一代產(chǎn)品G10U-PH激光干涉儀（及行業(yè)內(nèi)主流的與G10U相當?shù)漠a(chǎn)品）的分辨極限，導致無法準確測量。
G5U-PH便針對該特殊需求而設(shè)計，可以對超大像差實現(xiàn)準確分辨及測試。
相同攝像孔在G5U及G10U干涉儀圖像對比
最大可準確測量的像差，G5U-PH相對于G10U-PH的升級見下表：
G10U-PH | G5U-PH | |
條紋數(shù) | 20fr | 40fr |
PV（背景零場測試值） | 1λ | 3λ |
2、空腔調(diào)整零場精度高
在測試攝像小孔區(qū)域的平行度時，需要預(yù)先把空腔調(diào)整至接近零條紋。當測試口徑為Φ5mm時，由于觀察視場非常小，調(diào)整零條紋的精度較低。為此，G5U-PH干涉儀引入輔助觀察模式，可以在Φ30mm的大視場下調(diào)節(jié)空腔的零場，保證零場調(diào)節(jié)精度。
3、光源為進口He-Ne激光器（波長632.8nm）
He-Ne激光器相比半導體激光相比有如下優(yōu)點：相干性穩(wěn)定、優(yōu)良，干涉圖的對比度及清晰度更高，且壽命很長（一般可達到2萬小時以上）。半導體激光器隨溫度變化產(chǎn)生的溫飄會使干涉條紋的對比度、清晰度周期性變差，對數(shù)字化測量有很大影響；且壽命較短，易被靜電損傷。
