數(shù)控機床維修是一項集計算機、自動控制、自動檢測和電機拖動等于一體的技術，需要數(shù)控機床維修人員掌握大量的專業(yè)知識和豐富的數(shù)控機床維修經驗。因此，在日常數(shù)控機床維修中，如何盡快的找到故障原因并排除故障，提高設備完好率，是數(shù)控機床維修人員的首要任務。當出現(xiàn)機床精度異常、零件表面質量變差等問題時，就需要借助一些先進的精度檢測儀器。激光干涉儀作為數(shù)控機床精度常用的檢測工具，能對數(shù)控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序，能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度，反向間隙等。以Renishaw 公司生產的型號 XL-80 激光干涉儀為例，其線性測長精度可達到 ±0.5ppm(0~40℃ )，線性測量最長可以達到 80m，最高線性測長分辨率 0.001μm，最高測量速度 240m/min。對于不同的數(shù)控機床，檢測的曲線各不相同，其完善的軟件功能通過對不同的曲線進行分析，能夠將影響機床精度的原因列出來，數(shù)控機床維修人員能夠很直觀通過分析圖形和數(shù)據(jù)，了解到機床在哪些方面存在誤差，這樣就為調整和數(shù)控機床維修提供了充分的數(shù)據(jù)支持和指導，大大縮短數(shù)控機床維修時間，提高數(shù)控機床維修的效率。

1 激光干涉儀組件

　　要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)，需要使用激光測量系統(tǒng)的以下組件，主要有：XL 激光頭、三腳架和云臺、XC 環(huán)境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機，

2 激光干涉儀工作原理

　　多普勒效應（Doppler Effect）: 任何形式的波傳播，都是由于波源、接收器、傳播介質或中間反射器的運動，會使頻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。這種因多普勒效應所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移（Doppler Shift）, 其頻移大小與介質、波源和觀察物的運動有關。如圖 2 所示，XL 激光頭射出的頻率為 f0, 經過反射鏡反射回來到激光頭內的探測器，當反射鏡不動時，其反射波頻率 fr= f0。當反射鏡以 v=dx/ dt的速度沿線性軸遠離或者靠近激光頭時，因為光程增加或減少了 2vt，反射波 fr的數(shù)值會減少或增加 2v /λ0，λ0為激光波長。